Chroma Model 7936 正反面晶圆检侧模式
2016-03-24
Chroma 7936晶圆双面检测机为自动化的切割后 晶粒检测机，可以同时间进行正反两面的晶粒外 观检查。使用先进的打光技术，可以清楚的辨识 晶粒的外观瑕疵。结合不同的光源角度、亮度及 取像模式，使得Chroma Model 7936 双面晶圆检测系统可以适用于新的制程如垂 直结构晶粒或是覆晶晶粒。
由于使用的高速相机以及自行开发之检测演算 法，Chroma Model 7936 双面晶圆检测系统可以在4.5分钟内检测完2 吋 LED晶圆， 换算为单颗处理时间为35msec。Chroma Model 7936 双面晶圆检测系统同时也提 供了自动对焦与翘曲补偿功能，以克服晶圆薄 膜的翘曲与载盘的水平问题。Chroma Model 7936 双面晶圆检测系统可配置2种不 同倍率，使用者可依晶粒或瑕疵尺寸选择检测 倍率。系统搭配的最小解析度为0.7um，一般来 说，可以检测2um左右的瑕疵尺寸。
系统功能
在扩膜之后，晶粒或晶圆可能会产生不规则的 排列，Chroma Model 7936 双面晶圆检测系统也提供了搜寻及排列功能以转正晶 圆。此外，Chroma Model 7936 双面晶圆检测系统拥有人性化的使用介面可降低 学习曲线，所有的必要资讯，如晶圆分布、瑕疵 区域、检测参数及结果等，均可清楚地透过软体 介面呈现。
瑕疵资料分析
所有的检测结果均会被记录下来，而不仅仅是 良品/不良品的结果。这有助于找出一组最佳参 数，达到漏判与误判的平衡点。瑕疵原始资料亦 有帮助于分析瑕疵产生之趋势，并回馈给制程人 员进行改善。
综合上述说明，Chroma Model 7936 双面晶圆检测系统是晶圆检测制程考 量成本与效能的最佳选择。长沙AG九游会集团仪器设备有限公司作为台湾Chroma公司湖南区域的总代理，以下为长沙AG九游会集团仪器设备有限公司为您简单介绍Chroma Model 7936 双面晶圆检测系统的技术参数及产品特点，如果您想对Chroma Model 7936 双面晶圆检测系统有更多的了解，欢迎致电长沙AG九游会集团仪器设备有限公司，联系电话：0731-84284278 84284378。更多产品信息欢迎点击：cafe-lamp-eye.com。长沙AG九游会集团仪器设备有限公司。
Chroma Model 7936 双面晶圆检测系统主要特色：
可同时检测晶圆正反两面
最大可检测 8 吋晶圆 (检测区域达10 吋范围 )
可因应不同产业的晶粒更换或新增检测项目
上片后晶圆自动对位机制
自动寻边功能可适用于不同形状之晶圆
瑕疵规格编辑器可让使用者自行编辑检测规格
瑕疵检出率高达 98%
可结合上游测试机晶粒资料，合并后上传至下一道制程设备
提供检测报表编辑器，使用者可自行选择适用资料并进行分析
